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椭圆偏振测厚仪SGC-2

更新时间:2017-05-23 15:03:00

椭圆偏振测厚仪SGC-2

椭圆偏振测厚仪SGC-2

仪器设备介绍

性能指标:
(1)仪器测量精度:在10 nm处误差为±0.5 nm
(2)光学中心高度:75 mm
(3)允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120 mm,厚度≤10 mm
(4)测量范围:1 nm~4000 nm
(5)测量最小值:≤1 nm
(6)镀膜折射率范围:1.3 ~2.49
(7)入射角:40°~90° 误差≤0.05°
(8)偏振器方位角范围:0°~180°
(9)仪器测量精度:在10 nm处误差为±0.5 nm
(10)允许样品尺寸直径:Φ10~Φ120 ?mm,厚度≤10 ?mm


适用领域:主要用于薄膜材料的厚度以及光学常数的测试。